為了使去離子水RO裝置能夠安全可靠地運行，便于運行過程中的自動化運行及監控，需要在不同的過程節點安裝相應的儀器儀表，一般需要裝設的表計有溫度表、壓力表、流量表、pH表、電導率表、氯表、氧化還原電位表等，去離子水處理設備反滲透工藝中常用儀表的介紹如下：
(1)溫度表
檢測給水溫度表并反饋給主機PLC系統，因產水量與溫度有關，所以需要監測以便求出“標準化”后的產水量。大型設備應進行記錄，另外，溫度超過45℃會損壞膜元件，所以對去離子水處理設備中的原水加熱器系統應設超限報警、超溫水自動排放和停運RO的保護。
(2)壓力表
給水壓力表、段RO出水壓力表、排水壓力表用于計算每一段的壓降(也可裝設壓差表)并用于對產水量和鹽透過率進行“標準化”。鹽透過率、產水量和△P壓差用于RO性能問題的分析。
給水泵進出口壓力表用于監測去離子水處理設備中的給水泵進出口壓力，進出口壓力開關用于在進口壓力低報警、停泵，出口壓力高(延時，以防慢開門未打開)報警、停泵。
3)氧化還原電位表
經加亞硫酸氫鈉消除余氯的給水應裝設氧化還原電位表，應有指示、記錄、超限報警。
(4)液位表
檢測原水箱、中間水箱及純水箱的液位狀況，并與系統PLC兼容，自動啟停去離子水處理設備的運行。
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