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詳解集成電路用超純水設備工藝設計(圖)

  中天恒遠反滲透官網小編給您詳細的介紹——集成電路用超純水設備工藝設計,希望對廣大用戶朋友有所幫助。

  集成電路用超純水設備采用世界領先的膜分離技術,同時結合EDI技術和混床技術,根據用戶需求設置多種制水工藝,從而多視角、全方位滿足不用行業用水需求。

  集成電路用超純水設備工藝設計

  為滿足用戶需要,達到符合標準的水質,盡可能地減少各級的污染,在工藝設計上,取達國家自來水標準的水為原水,再設有介質過濾器,活性炭過濾器,精密過濾器等預處理系統、RO反滲透主機系統、離子交換混床系統等。

  1、介質過濾器主要作用是去除原水中的懸浮物質及機械雜質。設備由優質不銹鋼材料制作而成。體內裝有布水帽、精制石英砂等,亦可裝其它填料。合理的石英砂裝填比例及良好的布水系統,使系統的產水水質更加穩定。另外設備還設有氣體沖刷功能,能比較大限度地清除介質上及床層中的污垢,提高出水水質和延長工作周期。

  2、活性炭過濾器具有除臭、去色、除油、吸附有機物雜質等作用,能比較大程度的去除水中的游離余氯,保證反滲透膜的進水水質,設備由優質不銹鋼材料制成。

  3、RO主機系統引進上先進的反滲透技術,利用壓力差原理,能有效地去除水中的鹽類,脫鹽率可達到99%左右。

  4、混床系統采用離子交換技術,內裝陰、陽樹脂,合理的樹脂層高度能有效地保證出水水質滿足用戶要求。

  集成電路用超純水設備特點

  1、整體化程度高,易于擴展,增加膜數量即可增加處理量。

  2、自動化程度高,遇故障立即自停,具有自動保護功能。

  3、膜組件為復合膜卷制而成,表現出更高的溶質分離率和透過速率。

  4、能耗低,水利用率高,運行成本低。

  5、結構合理,占地面積少。

  6、先進的膜保護系統,在設備關機,淡化水可自動將膜面污染物沖洗干凈,延長膜壽命。

  7、系統無易損部件,無須大量維修,運行長期有效。

  8、超純水處理設備設計有膜清洗系統用阻垢系統。

  集成電路用超純水設備主要是有機械過濾器、活性炭過濾器、軟化器和精密過濾器組成的預處理系統,主要的設備主要有反滲透設備EDI模塊。傳統的超純水設備采用的核心技術是陰陽混床,EDI技術的出現取代了混床的應用,出水質量高,運行更加穩定。

  

 

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(責任編輯:李德馨)
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